主要規格
掃描器行程 : 20x20x1.5µm、100x100x15µm(選配)、150x150x5µm(選配)
掃描參數自動調整 : RealTune(點、線、面)
樣品尺寸 : 35mm直徑、50mm直徑(選配)
光學顯微鏡 : 200倍整合式 (附3倍數位放大與目標物定位功能)
探針偵測方式 : 雷射光槓桿式 (搭載新世代SLD低光擾紅外光雷射)
防震措施 : 桌上型充氣式減震台
掃描器行程 : 20x20x1.5µm、100x100x15µm(選配)、150x150x5µm(選配)
掃描參數自動調整 : RealTune(點、線、面)
樣品尺寸 : 35mm直徑、50mm直徑(選配)
光學顯微鏡 : 200倍整合式 (附3倍數位放大與目標物定位功能)
探針偵測方式 : 雷射光槓桿式 (搭載新世代SLD低光擾紅外光雷射)
防震措施 : 桌上型充氣式減震台
量測功能
標準量測 : AFM/DFM形貌量測、Phase功能、MFM、FFM、Force curve
標準進階量測 : SIS mode、SIS-Phase
選配 : VE、LM-FFM、Adhesion、KFM (AM/FM雙模式)、EFM、PRM、SSRM、C-AFM、Active-Q、SIS-Access、SIS-QuantiMech、SIS-Property、AFM Marking ... 等
標準量測 : AFM/DFM形貌量測、Phase功能、MFM、FFM、Force curve
標準進階量測 : SIS mode、SIS-Phase
選配 : VE、LM-FFM、Adhesion、KFM (AM/FM雙模式)、EFM、PRM、SSRM、C-AFM、Active-Q、SIS-Access、SIS-QuantiMech、SIS-Property、AFM Marking ... 等
應用
形貌量測用途與經濟型考量,用戶可於未來添購選用配件以升級成 AFM100Plus 或 AFM100Pro 高階多功能版本
形貌量測用途與經濟型考量,用戶可於未來添購選用配件以升級成 AFM100Plus 或 AFM100Pro 高階多功能版本