掃描器行程 : 200x200x15µm
掃描器Closed-loop設計 : 電容式XYZ三軸
掃描器Z軸正交性 : 最新世代平板掃描器，完全無管撞掃描器之曲面效應
掃描參數自動調整 : RealTune(點、線、面)
探針取放 : 全電動軟體控制，具備最多5支探針暫存區
樣品尺寸 : 4吋直徑內
樣品載台位移 : 100x100mm軟體電動控制附搖桿
樣品台程式化 : 可儲存10程式、每程式100點自動量測
光學顯微鏡 : 465~3255倍電控聚焦縮放(27吋螢幕)
探針偵測方式 : 雷射光槓桿式
隔音與防震機制 : 內建電子主動式防震基座與高階一體式隔音罩
標準量測 : AFM/DFM形貌量測、Phase功能、MFM、FFM、Force curve、Lithography
標準進階量測 : SIS mode、SIS-Phase、SIS-Property
選配 : KFM、EFM、PRM、SSRM、Conductive-AFM、ElectroChemistry、ViscoElastic ... 等
應用 : 中工件多功能 AFM 平台，適用於半導體、TFT-LCD、LED ... 等工業自動化檢測
