新拓電器

掃描器行程 : 20x20x1.5µm、100x100x15µm(選配)、150x150x5µm(選配)、15x15µm CL(選配)
掃描參數自動調整 : RealTune(點、線、面)
腔體開闔 : 雙旋鈕式啟閉
樣品尺寸 : 25mm直徑
光學顯微鏡 : 200倍整合式、200~1500倍縮放式(選配)、200~2800倍金像顯微鏡(選配)
探針偵測方式 : 雷射光槓桿式
隔音與防震機制 : 一體成型不銹鋼腔體附氣浮式防震桌
真空性能 : 搭載轉子機械泵與渦流分子馬達可至10-6 torr 高真空等級(選配)
溫度控制 : -120至300度C連續控溫(選配)、RT至800度連續控溫(選配)
環境氣氛控制 : 氣氛控制(需選配真空)、濕度控制(選配)
與SEM連動配備 : SEM/AFM連動載台(選配)

 
標準量測 : AFM/DFM形貌量測、Phase功能、MFM、FFM、Force curve、Lithography
標準進階量測 : SIS mode、SIS-Phase
探針Q控制 : Active Q
粗糙度評價程序 : JISR1683導入
選配 : KFM、EFM、PRM、SSRM、SCM、Conductive-AFM、ElectroChemistry、ViscoElastic  ... 等


 
應用 :
1. 半導體電性故障分析(真空SCM、SSRM、CAFM)
2. 導電高分子電性與物性分析
3. 表面最佳成像溫度(機械性質差異)
4. 溫度依存性的材料試驗(高分子、塑橡膠)
5. 特定氣氛下之表面特性
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