功能說明
可將形貌與原位量測的各種物性訊號 ( 如 Phase、磁力、電位、靜電力、電容 .... 等 ) 進行 2D 與 3D 的疊圖,將有助於判別形貌與物性之相對位置
左圖為 ITO 導電玻璃的顆粒狀 3D 構造,我們可以將正偏壓下的電流圖像,導入此 3D 形貌中,便能更清楚觀察導電區域 ( 藍色 )分佈於形貌上的相對位置,此功能對於表面物性與形貌之間的相應位置比對十分有效。
適用機種
AFM100 系列、AFM5300E 與 AFM5500M 之全面標準配備
AFM100 系列、AFM5300E 與 AFM5500M 之全面標準配備