表面電流量測 (Conductive AFM)與其他電性功能(KFM/EFM/PRM/EC)
Hitachi AFM 具備多種電流放大器可供選擇，最高電流解析度可至 60 fA，並可搭配 SIS 跳點式成像模式，提升電流成像的安定性與解析度。另外 Hitachi 也提供表面電位(KFM)、壓電響應(PRM)、表面靜電(EFM)...等電性功能提供客戶選擇
半導體故障分析 (SCM/SSRM/CAFM)
對於半導體故障分析領域來說，隨著半導體製程元件尺度縮小，傳統 AFM 電性量測的極限也將受到挑戰，Hitachi 除了提供 SCM、SSRM、CAFM 等檢測功能外，更可搭配真空環境 (AFM5300E) 將電性量測解析度提升至 10nm 以下，以及拔除表面水膜而有效控制探針下壓力，對於軟物質電性量測應用有相當大程度的助益!
對於半導體故障分析領域來說，隨著半導體製程元件尺度縮小，傳統 AFM 電性量測的極限也將受到挑戰，Hitachi 除了提供 SCM、SSRM、CAFM 等檢測功能外，更可搭配真空環境 (AFM5300E) 將電性量測解析度提升至 10nm 以下，以及拔除表面水膜而有效控制探針下壓力，對於軟物質電性量測應用有相當大程度的助益!
