Hitachi AFM100Pro 具備雙模式探針驅動設計，除了保留傳統壓電式驅動 (Piezo-Drive)，更導入新世代的光驅動技術 (IR-Drive)，以使探針振福可達 sub-nm 等級，大幅提升樣品表面微小起伏的偵測能力，輔以搭載新世代 RF-modulated Laser 光槓桿系統，進而達到超高解析度 (Super-resolution) 的量測能力，對於氣相與液相下的高解析成像需求提供最有利的成像技術。