為提升未來服務效能與品質，原先 Hitachi High-Tech Science 公司所負責之 Mask Repair / FIB / AFM / CSI 售後服務與零件供應，於 2021 年 4 月 1 日起將轉由 Hitachi High-Tech 集團旗下 Hitachi High-Tech Fielding 公司所負責，相關客戶權益並不受任何影響。